日前,中國(guó)電科十三所承擔(dān)的省科技廳國(guó)際科技合作基地建設(shè)專(zhuān)項(xiàng)“高精度單片三軸集成MEMS陀螺聯(lián)合研發(fā)合作示范項(xiàng)目”順利完成研發(fā)任務(wù),研發(fā)的高精度單片式三軸MEMS陀螺達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平,填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)空白,為我國(guó)單芯片三軸陀螺的進(jìn)一步研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
該項(xiàng)目基于中國(guó)電科十三所已有的高精度單軸陀螺技術(shù),與德國(guó)弗朗霍夫硅技術(shù)研究所開(kāi)展高精度單片集成三軸陀螺的技術(shù)合作和聯(lián)合開(kāi)發(fā)。在省科技廳國(guó)際科技合作基地建設(shè)專(zhuān)項(xiàng)支持下,項(xiàng)目組加快了單芯片三軸陀螺的研發(fā)進(jìn)度,縮短了研發(fā)周期,通過(guò)兩年的國(guó)際合作和聯(lián)合開(kāi)發(fā),掌握了高精度三軸陀螺的仿真設(shè)計(jì)、單片式三軸陀螺的高精度加工工藝、三軸單片集成ASIC電路設(shè)計(jì)與仿真、MEMS陀螺三軸集成封裝等關(guān)鍵技術(shù),實(shí)現(xiàn)了從單軸MEMS陀螺到單片集成三軸MEMS陀螺的技術(shù)突破,研制出國(guó)際領(lǐng)先水平的高精度單片式三軸MEMS陀螺,成功開(kāi)發(fā)出國(guó)際先進(jìn)水平的產(chǎn)品樣機(jī)。該研發(fā)成果有效降低了慣性產(chǎn)品體積、重量、功耗和成本,提升了市場(chǎng)核心競(jìng)爭(zhēng)力。產(chǎn)品批量應(yīng)用于平臺(tái)穩(wěn)定、姿態(tài)控制、自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域,滿(mǎn)足高端工業(yè)和國(guó)防應(yīng)用等需求,推動(dòng)了三軸陀螺的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程?! ?/span>
近年來(lái),省科技廳認(rèn)真貫徹落實(shí)省委、省政府工作部署,大力推進(jìn)開(kāi)放創(chuàng)新,于2019年專(zhuān)門(mén)設(shè)立國(guó)際科技合作基地建設(shè)專(zhuān)項(xiàng),搭建合作平臺(tái),深化國(guó)際科技合作,聚集創(chuàng)新資源。專(zhuān)項(xiàng)實(shí)施三年來(lái),引導(dǎo)創(chuàng)新主體深入開(kāi)展國(guó)際合作作用逐步顯現(xiàn),為我省創(chuàng)新體系完善和創(chuàng)新能力提升提供了有效支撐。