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國際科技合作基地建設(shè)專項(xiàng)“高精度單片三軸集成MEMS陀螺聯(lián)合研發(fā)合作示范項(xiàng)目”取得重大進(jìn)展

來源： 河北省科技廳
作者：南皮縣產(chǎn)學(xué)研科技成果轉(zhuǎn)化服務(wù)中心
日期： 2022-04-30
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日前，中國電科十三所承擔(dān)的省科技廳國際科技合作基地建設(shè)專項(xiàng)“高精度單片三軸集成MEMS陀螺聯(lián)合研發(fā)合作示范項(xiàng)目”順利完成研發(fā)任務(wù)，研發(fā)的高精度單片式三軸MEMS陀螺達(dá)到國際領(lǐng)先水平，填補(bǔ)了國內(nèi)空白，為我國單芯片三軸陀螺的進(jìn)一步研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。
該項(xiàng)目基于中國電科十三所已有的高精度單軸陀螺技術(shù)，與德國弗朗霍夫硅技術(shù)研究所開展高精度單片集成三軸陀螺的技術(shù)合作和聯(lián)合開發(fā)。在省科技廳國際科技合作基地建設(shè)專項(xiàng)支持下，項(xiàng)目組加快了單芯片三軸陀螺的研發(fā)進(jìn)度，縮短了研發(fā)周期，通過兩年的國際合作和聯(lián)合開發(fā)，掌握了高精度三軸陀螺的仿真設(shè)計(jì)、單片式三軸陀螺的高精度加工工藝、三軸單片集成ASIC電路設(shè)計(jì)與仿真、MEMS陀螺三軸集成封裝等關(guān)鍵技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了從單軸MEMS陀螺到單片集成三軸MEMS陀螺的技術(shù)突破，研制出國際領(lǐng)先水平的高精度單片式三軸MEMS陀螺，成功開發(fā)出國際先進(jìn)水平的產(chǎn)品樣機(jī)。該研發(fā)成果有效降低了慣性產(chǎn)品體積、重量、功耗和成本，提升了市場核心競爭力。產(chǎn)品批量應(yīng)用于平臺穩(wěn)定、姿態(tài)控制、自動(dòng)駕駛等領(lǐng)域，滿足高端工業(yè)和國防應(yīng)用等需求，推動(dòng)了三軸陀螺的產(chǎn)業(yè)化進(jìn)程?！　?/span>
近年來，省科技廳認(rèn)真貫徹落實(shí)省委、省政府工作部署，大力推進(jìn)開放創(chuàng)新，于2019年專門設(shè)立國際科技合作基地建設(shè)專項(xiàng)，搭建合作平臺，深化國際科技合作，聚集創(chuàng)新資源。專項(xiàng)實(shí)施三年來，引導(dǎo)創(chuàng)新主體深入開展國際合作作用逐步顯現(xiàn)，為我省創(chuàng)新體系完善和創(chuàng)新能力提升提供了有效支撐。
 

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